Préavis d’Adjudication de Contrat (PAC)
PAC 25-58272 - Système Automatisé de Piste Linéaire Multi-Modules Pour Plaquettes
1. Préavis d’adjudication de contrat (PAC)
Un préavis d’adjudication de contrat (PAC) est un avis public informant la collectivité des fournisseurs qu’un ministère ou organisme a l’intention d’attribuer un contrat pour des biens, des services ou des travaux de construction à un fournisseur sélectionné à l’avance, ce qui permet aux autres fournisseurs de signaler leur intérêt à soumissionner en présentant un énoncé des capacités. Si aucun fournisseur ne présente un énoncé des capacités qui satisfait aux exigences établies dans le PAC, au plus tard à la date de clôture indiquée dans le PAC, l’agent de négociation des contrats peut procéder à l’attribution du contrat au fournisseur sélectionné à l’avance.
2. Définition des besoins
Le Conseil national de recherches du Canada (CNRC) a un besoin pour la fourniture, la livraison, l’installation, la qualification et la formation des utilisateurs d’un (1) système automatisé linéaire à modules multiples pour le traitement de plaquettes (le « Système »). Ce système hautement spécialisé offrira un flux de processus entièrement intégré et automatisé, remplaçant le flux de travail manuel actuellement utilisé pour le revêtement diélectrique au bisbenzocyclobutène (BCB). La chaîne automatisée doit effectuer toutes les étapes de revêtement, de traitement thermique (cuisson) et de refroidissement dans une architecture linéaire unique, compacte, et conforme aux strictes contraintes d’espace de la salle blanche du CPFC.
3. Critères d’évaluation de l’énoncé des capacités (Exigences essentielles minimales)
Tout fournisseur potentiel doit démontrer, au moyen d’un énoncé de capacités, que son produit répond aux exigences suivantes : Le système doit :
- utiliser une architecture de piste linéaire automatisée comprenant des modules d’envoi, de cuisson, de refroidissement, de revêtement, de cuisson et de réception ;
- utiliser une architecture linéaire à une seule piste dont l’empreinte totale de l’armoire ne doit pas dépasser 35,5 po de largeur et 82,5 po de longueur ;
- s’adapter aux contraintes d’espace limitées de l’installation — en utilisant une architecture linéaire à une seule piste ne dépassant pas 35,5 pouces de largeur et 82,5 pouces de longueur ;
- être capable de traiter des substrats semi-conducteurs ronds de 3 pouces (75 mm) et de 4 pouces (100 mm). La transition entre les tailles doit être gérée par des recettes logicielles ou des ajustements matériels minimaux ;
- inclure une plaque de refroidissement par contact sous vide à 3 broches avec une surface anodisée dure pour stabiliser les substrats après la cuisson ;
- être capable de gérer simultanément au moins deux (2) des densités de cassettes normalisées suivantes :
- pas de 3/16 po (25 substrats),
- pas de 1/4 po (20 substrats), et
- pas de 3/8 po (12 substrats pour les plaquettes épaisses ou déformées) ;
- utiliser un mécanisme de transport automatisé des substrats pour déplacer les plaquettes entre tous les modules de procédé ;
- inclure un contrôleur avec une interface graphique (GUI) permettant la configuration du système, la surveillance, le dépannage et le stockage des recettes ;
- inclure une pompe à seringue de précision et un contrôleur spécialement conçus pour distribuer des polymères à haute viscosité tels que le BCB sans bulles ni obstruction ;
- inclure une plaque de refroidissement par contact sous vide à 3 broches avec une surface anodisée dure pour stabiliser les substrats après la cuisson ;
- inclure une pompe à seringue de précision et un contrôleur spécialement conçus pour distribuer des polymères à haute viscosité tels que le BCB sans bulles ni obstruction ;
- comporter des contrôleurs de débit d’échappement programmables et des interrupteurs à vide numériques pour assurer la sécurité et la répétabilité du procédé ;
- inclure au minimum trois (3) réservoirs de distribution de solvant de 5 gallons équipés de capteurs de niveau bas et de conduites de fluide en acier inoxydable ;
- inclure au minimum un (1) conteneur de déchets de 5 gallons avec capteur de fuite et dispositif de confinement des déversements ;
- être équipé d’un module de filtration à ventilateur intégré monté sur le dessus de l’enceinte ;
- accepter une alimentation de 120 V CA, 208 V monophasé ou 208 V triphasé à 60 Hz. L’utilisation d’un transformateur fourni par le fournisseur est acceptable.
Les indexeurs du système doivent être conformes aux configurations standard H de la norme SEMI.
Le mécanisme automatisé de transport des substrats doit utiliser une détection numérique du vide et présenter une répétabilité de ± 0,1 mm ou mieux.
Les modules de cuisson intégrés doivent supporter une plage de température programmable de 50 °C à au moins 300 °C.
Les modules de cuisson doivent comporter une cuisson par proximité programmable à 3 broches afin d’assurer une uniformité thermique et d’éviter la contamination des substrats. Les plaques doivent être en aluminium coulé avec une surface anodisée dure pour la résistance chimique.
Le module de revêtement doit :
- inclure un bras pivotant programmable capable de supporter au moins trois (3) buses de distribution indépendantes ;
- inclure un système de lavage intégré. Ce système doit être programmable par logiciel pour effectuer des cycles d’auto-nettoyage.
Le coater doit :
- être équipé de systèmes d’élimination de la bavure de bord (EBR) supérieurs et inférieurs pour les substrats de 3 pouces et 4 pouces ;
- utiliser une coupelle de récupération à faible turbulence afin de minimiser le brouillard de solvant et la redéposition sur la surface de la plaquette lors des rotations à grande vitesse ;
- utiliser une coupelle de récupération à faible turbulence afin de minimiser le brouillard de solvant et la redéposition sur la surface de la plaquette lors des rotations à grande vitesse ;
Le module de revêtement doit inclure un système de lavage intégré programmable par logiciel pour effectuer des cycles d’auto-nettoyage.
- Les conduites de fluide et le câblage doivent être en Téflon (ou fluoropolymère équivalent) ;
- La structure de l’armoire doit être en acier inoxydable électro-poli pour une compatibilité en salle blanche ;
- L’ordinateur principal de commande du système doit utiliser une configuration RAID 1 afin de garantir qu’en cas de défaillance d’un disque, le système reste entièrement opérationnel sans perte de recettes de procédé, de données d’étalonnage ou de journaux de fonctionnement.
Le Contractant doit :
- inclure un bol de revêtement de rechange et un ensemble de pièces de rechange comprenant les composants couramment remplacés ;
- démontrer la fiabilité du système en testant l’équipement mécanique, électrique, pneumatique et périphérique pendant au moins 60 heures avant l’expédition ;
- démontrer la fiabilité du système en faisant passer au minimum 1 000 plaquettes à travers la piste avant l’expédition.
Tout équipement électrique fourni dans le cadre du contrat doit être certifié ou approuvé pour une utilisation conforme au Code canadien de l’électricité, Partie 1, avant la livraison, par un organisme de certification accrédité par le Conseil canadien des normes, tel que Underwriters Laboratories (UL). Consultez le document Recognized Canadian Electrical Product or Equipment Approval Marks | Standards Council of Canada – Conseil canadien des normes (scc.ca) pour plus de détails. L’équipement doit porter l’étiquette de certification.
Le Canada a l’intention de conserver la propriété de toute propriété intellectuelle (PI) de premier plan découlant du contrat proposé, car le principal objectif de celui-ci est de générer des connaissances et des informations destinées à être diffusées publiquement.
4. Applicabilité des accords commerciaux à l'achat
Cet approvisionnement est à part des accords commerciaux internationaux en vertu de la disposition que chacun prévoit pour des mesures concernant les peuples aborigènes ou pour les mises en réserve pour les petites et minorités.
5. Mise de côté dans le cadre de la Stratégie d'approvisionnement pour les entreprises autochtones
Entreprises autochtones (PSIB). Cet approvisionnement est réservé à un fournisseur autochtone conformément à la Stratégie gouvernementale d'approvisionnement pour les entreprises autochtones (PSIB). Par conséquent, seuls les fournisseurs répondant à la définition d'entreprise autochtone, telle que définie dans le PSIB, peuvent soumettre une déclaration de compétences.
6. Justification du fournisseur pré-identifié
Le nombre limité de fournisseurs autochtones capables de répondre à cette exigence est limitée, et MSS LTD. a donc été choisie comme fournisseur autochtone pouvant répondre à cette exigence en dehors de cet ensemble.
7. Exception(s) concernant les règlements sur les contrats gouvernementaux
L'exception ou les exceptions suivantes au Règlement sur les contrats publics est invoquée pour cet appel en vertu du paragraphe 6(d) - « une seule personne est capable d'effectuer le travail ».
8. Période du contrat proposé ou date de livraison
Le matériel (selon le cas) doit être livré d'ici le 31 mars 2026.
9. Nom et adresse du fournisseur pré-identifié
MSS LTD, 47 Studney Drive,
Hay River, Territoires du Nord-Ouest, X0E0R6
Canada
10. Droit des fournisseurs de soumettre une déclaration de capacités
Les fournisseurs qui se considèrent pleinement qualifiés et disponibles pour fournir les biens, services ou services de construction décrits dans l'AAPC peuvent soumettre une déclaration de capacités par écrit à la personne de contact identifiée dans cet avis à la date limite de cet avis ou avant la date limite de cet avis. La déclaration des capacités doit clairement démontrer comment le fournisseur répond aux exigences annoncées.
Seuls les fournisseurs qui répondent à la définition d'entreprise autochtone, telle que définie dans la PSIB, et qui se considèrent pleinement qualifiés et disponibles pour fournir les biens, services ou services de construction décrits dans l'AAPC peuvent soumettre par écrit une déclaration de capacités à la personne de contact identifiée dans cet avis à la date limite de cet avis ou avant la date limite de cet avis. La déclaration des capacités doit clairement démontrer comment le fournisseur répond aux exigences annoncées.
11. Date limite pour la soumission d'une déclaration de capacités
La date et la date de clôture pour l'acceptation des déclarations de capacités sont le 06 Février 2026 à 14 :00 heures HNE.
12. Demandes de renseignements et soumission d'énoncés de capacités
Les demandes et déclarations de capacités doivent être adressées à :
Katie Homuth
Agente principale des contrats | Projets spéciaux
Services d’approvisionnement et des contrats | Direction des Services Financiers et d’Approvisionnement
Conseil national de recherches Canada | Gouvernement du Canada
K••••••••@••••••••.••.ca | 343-549-4539
